Feature

• Band Heater + Pad Heater + 기류 제어 모듈 + cover
• 146 (W) x 120(D) x 225 (H)
• GI + 내열 도장 (검정)

Function

MFA 시스템은 CVD, Metal, Etching, Diffusion 및 Implant 같은 다양한 반도체 공정설비에 적용되어 배기 효율성을 향상시킵니다.

• 열유동 제어를 통한 배관 보호 효과 극대화
• 회전기류를 통한 효율적인 배기 가스 이동 메카니즘
• 정밀 온도 조절을 위한 PID 제어
• 자동 최적화를 위한 자동 조정 프로세스
• 제어데이터 송수신을 위한 RS485 통신
• 인터페이스히터 시스템의 운영 상태 모니터링 가능
• 과열 방지를 위한 바이메탈 컷오프