NI事業部

Feature

• Band Heater + Pad Heater + 空気流制御モジュール + cover
• 146 (W) x 120(D) x 225 (H)
• GI + 耐熱塗装（黒)

Function

MFAシステムは、CVD、Metal、Etching、Diffusion、Implantなどのさまざまな半導体プロセス設備に適用され、排気効率を向上させます。

• 熱流制御による配管保護効果の最大化
• 回転気流による効率的な排気ガス移動機構
• 精密温度制御のためのPID制御
• 自動最適化のための自動調整プロセス
• 制御データの送受信のためのRS485通信
• インターフェースヒーターシステムの動作状態監視可能
• 過熱防止のためのバイメタルカットオフ