Feature

• Band Heater + Pad Heater + 气流控制模块 + cover
• 146 (W) x 120(D) x 225 (H)
• GI + 耐热漆（黑色）

Function

MMFA系统应用于CVD、Metal、Etching、Diffusion、Implant等各种半导体工艺设备，提高排气效率。

• 通过热流控制最大限度提高管道保护效果
• 通过旋转气流实现高效的废气运动机制
• PID 控制，实现精确的温度控制
• 自动调优过程，实现自动优化
• RS485通信用于发送和接收控制数据
• 可监控界面加热器系统的运行状态
• 双金属截止防止过热