Feature

• Band Heater + Pad Heater + Luftstrom-Steuermodul + cover
• 146 (W) x 120(D) x 225 (H)
• GI + Hitzebeständige Farbe (schwarz)

Function

MFA-Systeme werden in verschiedenen Halbleiterfertigungsanlagen wie CVD, Metal, Etching, Diffusion und Implantation eingesetzt, um die Abzugseffizienz zu verbessern.

• Maximierung des Rohrschutzes durch Wärmeflusskontrolle
• Effizienter Abgasstrommechanismus durch Rotationströme
• PID-Steuerung für präzise Temperaturregelung
• Automatischer Anpassungsprozess für automatische Optimierung
• RS485-Kommunikation für die Übertragung von Steuerdaten
• Überwachung des Betriebsstatus des Interface-Heizungssystems möglich
• Bimetall-Abschaltung zum Überhitzungsschutz