• null
    DOPPELTES AUFHALTSROHR
  • Features
  • · Farbkennzeichnung der Rohrleitungen zur Minimierung von Gefahren und Verbesserung der Augensicherheit
  • · Minimierung von Leckstellen bei der Fernbauweise
  • · Integrale Bauweise, bequeme Arbeit und 30 % niedrigere Baukosten
  • · Hervorragende Verschleiß- und Abriebfestigkeit
  • · Betriebstemperatur bis zu 5000℉ (260℃)
  • null
    EP-Spulenrohr
  • Maker Introduce

Maker

Introduce

  • Bereitstellung spezieller Rohrleitungskomponenten und Dienstleistungen
  • Reinigung, Prüfung und Verpackung werden in einem Reinraum der Klasse 10 gemäß ISO-Standards durchgeführt.
  • EP-Coil-Rohr-Auswertungsdaten

Particle test #1 – 180º Bending → Straight restoration

※ Bestätigung der Nichterkennung von Partikeln nach 10 Minuten (menschliche Fehler werden ebenfalls innerhalb von 10 Minuten behoben)

Particle test #2 – Roller Use Straight Bending

  • So installieren Sie EP-TUBE (Spule: Stick) #1

ⓐ Spulenrohrkonstruktion (Verbesserungsplan)

ⓑ Stockrohr (Original)

  • So installieren Sie EP-TUBE (Spule: Stick) #2
  • Warum EP-Coil Tube verwenden?

SUS-Rohrschweißen

  • – Eine Methode zum Verbinden von Rohren durch Schmelzen eines Schweißstabs bei hoher Temperatur.
  • – Schweißdraht-Zusammensetzungstabelle

Global Enterprise EP-Coil-Anwendung

  • – TSMC, Intel, Micron usw. wenden ab 2016 neue Produktlinien an

EP-Coil-Rohranwendung

  • – Weniger Schweißpunkte = Weniger Schwachstellen → Weniger Metallschmelzpunkte
  • – Schweißpunkt bei Arbeiten mit 400M
  • Stangenrichtmaschine
  • null
    FFKM Fluor-O-Ring
  • Solrez’ Auswahlleitfaden für Prozesse
Verfahren Verbindungsnummer Betriebstemperatur(oC) Farbe Äquivalente Verbindung
Metal CVD Process
LP-CVD
Oxidation
Diffusion
Lamp Anneal
RTP
Ash
ALD		 8318 320 Light yellow 4079,8900
7075UP,653
8107 320 Black 4079,8900
7075UP,653
9578 300 Light yellow 9100, 9300M
XRZ
9575 300 White 8475, 8575
9568 280 Light yellow 8002
9566 280 White E-38
Wet Etching
Photo litho-graypy
Stripping
Copper plating		 9308 250 Light yellow 8002.93
9307 250 Black 6375UP
7709 230 Amver translucent Amor crystal
7708 230 Light yellow Ultic Armor
6907 220 Black -
6607 250 Black Fluoraz888
5901 200 Blue -
  • Solrez’ Leitfaden zur Compound-Auswahl
Verbindungsnummer Betriebstemperatur(oC) Farbe Äquivalente Verbindung Verarbeitung empfehlen
8318 320 Light yellow 4079,8900,7075UP,653 Oxidation diffusion(02,N2,CI2)
Metal CVD(NF3,SiH4,F2,CI2)
8107 320 Black 4079,8900,7075UP,653 Oxidation diffusion(02,N2,CI2)
Metal CVD(NF3,SiH4,F2,CI2)
9578 300 Light yellow 9100,9300,XRZ PECVD/ALD/HDPCVD
(TMS,SiH4,NH3,NF3,SiF4)
9575 300 White 8475,8575 Infrared light
9568 280 Light yellow 8002 Ash(2,CF4,NH3,CHF3),Dry etch
9566 280 White E-38 Ash(2,CF4,NH3,CHF3),Dry etch
9308 280 Light yellow 8002,9300 Wet etch,strip,copper plating
(HN03,HF,H3PO4,H202,CuSO4)
9307 250 Black 6375UP
7709 230 Amber translucent Amor crystal All CVD,Dry etch and plasma ashing
equipment For semiconductor and LCD
7708 230 Light yellow Ultic Armor
6907 220 Black - Excellent solvent resistance(FKM)
6607 250 Black Fluoraz888 Wet etch
5901 220 Blue - O2,O3 Plasma
  • Hochtemperatur FFKM Spezial O-Ring
  • Klasse: Solrez8318
  • Material: FFKM
  • Betriebstemperatur: 320℃
  • Farbe: hellgelb
  • Härte: 75(shore A)
  • Zugfestigkeit: 14.2MPa
  • Verlängerung: 210%
  • Druckverformungsrest: 18%(270℃ x 72hrs)
  • Anwendung:
    – Oxidation diffusion(O2,N2,CI2)
    – Metal CVD(NF3,SiH4,F2,CI2)
  • Klasse: Solrez8107
  • Material: FFKM
  • Betriebstemperatur: 320℃
  • Farbe: Black
  • Härte: 75(shore A)
  • Zugfestigkeit: 12.2MPa
  • Ausdehnung: 180%
  • Kompressionssatz: 18%(200℃ x 72hrs)
  • Anwendung:
    – Oxidation diffusion(O2,N2,CI2)
    – Metal CVD(NF3,SiH4,F2,CI2)

Sie können die gesamte Palette der CSP-Entwicklungsprodukte sehen.